高耐薬品性ドライフィルムレジスト（DFR） | 三菱製紙

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ダメージの大きな薬品に対して優れた耐性を有するDFR

従来にない高い耐薬品性
フッ酸、フッ硝酸等の強酸に対して優れた耐性
アルカリエッチャントに対して優れた耐性
ガラスエッチング、難エッチング金属への適用検討
アルカリ現像型ネガ型DFR
レジスト剥離が可能

製品写真

エッチング・剥離後

使用例

サンプル

レジスト解像度

　

露光量	開口穴	ライン＆スペース
200 mJ／cm²	50µmφ	40µm L／S
300 mJ／cm²	60µmφ	50µm L／S
400 mJ／cm²	80µmφ	80µm L／S

仕様

　

型式	レジスト厚み
KN30	30µm
KN15	15µm